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愛(ài)德華EPX180L半導體真空泵維修保養:干式渦旋真空泵維修,主要更換配件,軸承,真空泵油,O型圈等。專(zhuān)業(yè)維修EPX180L半導體真空泵,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
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更新時(shí)間:2023-03-16
產(chǎn)品產(chǎn)地:英國
在線(xiàn)留言品牌 | Edwards/英國愛(ài)德華 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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泵軸位置 | 其他 | 葉輪數目 | 其他 |
應用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,制藥,電氣 |
愛(ài)德華EPX180L半導體真空泵維修保養
新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保
護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
IPX 系列,可提供的性能,與 EPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
應用:
EPX 系列涵蓋的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過(guò)制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。
功能和優(yōu)勢
緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級
道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可化功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續工作。
超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承底油
脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
非??煽縀PX 基于經(jīng)過(guò)現場(chǎng)驗證的 IPX 技術(shù),具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,程度地延長(cháng)了
泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡(luò ) - EPX 系列配有終用戶(hù)控制,可以連接到各種結構的網(wǎng)絡(luò ),以進(jìn)行診斷監視和控制。
愛(ài)德華真空泵是半導體、平板顯示器、LED 和太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中*的部分,應用于日益多范圍化的工業(yè)過(guò)
程,包括電力、玻璃和其他涂層應用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué);適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應用。
東莞比其爾真空泵保養維修:為客戶(hù)提供長(cháng)期真空泵技術(shù)咨詢(xún)與指導,綜合維修保養、部件維修保養、預防性維修保養、
現場(chǎng)服務(wù)等售后服務(wù)項目。擁有專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口真空泵維修車(chē)間,配件充足/維修速度快/提供備用機/
延長(cháng)質(zhì)保.
服務(wù)細節:您一旦下訂單,我們將會(huì )與您商定安裝日期。我們提供的系統調試步驟包括:正確組裝,全盤(pán)考慮所有必要的
技術(shù)性能檢測(若適用)的管道連接根據現場(chǎng)供應情況安裝電氣設備(包括傳感器和控制系統集成(若有))正確加滿(mǎn)潤
滑油(如有需要)試運行,檢查并記錄輸出數據為操作人員提供系統操作培訓:指導檢測:公司擁有進(jìn)口檢測設備與專(zhuān)業(yè)技
術(shù),提供質(zhì)量穩定,確保維修過(guò)后達到的真空度和穩定性能,確??蛻?hù)生產(chǎn)安全無(wú)憂(yōu)。我們的真空可以根據您在真空泵中
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