產(chǎn)品列表 / products
日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修:愛(ài)發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內應力能力,所以泵能提供更強的安全性。
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更新時(shí)間:2022-11-24
產(chǎn)品產(chǎn)地:日本
在線(xiàn)留言品牌 | ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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泵軸位置 | 邊立式 | 葉輪數目 | 其他 |
應用領(lǐng)域 | 食品,化工,石油,能源,電子 |
日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修
愛(ài)發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制
程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內應力能力,所以泵能
提供更強的安全性。
真空泵不良現象及原因分析
1、不良現象:真空泵運行過(guò)載報警。
2、原因分析:
經(jīng)對真空泵進(jìn)行拆解, 發(fā)現以下幾個(gè)問(wèn)題點(diǎn):
不良現象 原因分析
(1)轉子軸套部磨損:
因軸承磨損導致轉子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
(2)泵內齒輪箱內積碳:
因泵軸承損壞,轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。
(3)軸承磨損:
因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。
(4)軸封磨損:
因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。
(5)軸套磨損:
因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。
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